ENTEGRIS空氣過濾器CMP
- 品 牌：ENTEGRIS
- 型 號：CMP
- 技術資料(liao)：
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產(chan)品介紹(shao)
CMP化學(xue)空氣過濾器(qi)對 22 nm 及以(yi)下波長的各種空氣分(fen)子(zi)污(wu)染物提供全(quan)面保護。保護工藝設備和(he)晶圓免受空氣分(fen)子(zi)污(wu)染的破壞性(xing)影響(xiang)。
性能(neng)特(te)點
- 防止 22 nm 及以下的 AMC
- 針對酸性污染物的平衡介質混合
- 去除關鍵的酸、堿和有機物以降低污染風險
技(ji)術(shu)參數
