Nano Vibration Analyzer 是(shi)一種集成在(zai)技術顯(xian)微鏡(jing)(jing)中的(de)光(guang)纖耦合激光(guang)干(gan)涉式測(ce)振(zhen)儀。它是(shi)測(ce)量(liang)微結構、MEMS 和(he)懸臂(bei)梁的(de)動態(tai)行為和(he)靜(jing)態(tai)變(bian)形的(de)理想選擇。測(ce)量(liang)對象可(ke)(ke)以使用(yong) X-Y 表在(zai)大(da)范圍(wei)內(nei)定(ding)位和(he)掃描(miao)，并(bing)且可(ke)(ke)以使用(yong) USB 攝像頭(tou)進(jin)行觀察。顯(xian)微鏡(jing)(jing)鏡(jing)(jing)頭(tou)是(shi)可(ke)(ke)互換的(de)。激光(guang)干(gan)涉式測(ce)振(zhen)儀可(ke)(ke)實現(xian)的(de)路徑分辨率(lv)(lv)在(zai)亞納米(mi)范圍(wei)內(nei)為 5 pm，從而可(ke)(ke)以分析高達 5 MHz 的(de)振(zhen)動頻(pin)率(lv)(lv)。專(zhuan)門開發(fa)的(de)軟(ruan)件(jian)可(ke)(ke)用(yong)于記錄(lu)和(he)顯(xian)示測(ce)量(liang)數據(ju)。除了振(zhen)動的(de)頻(pin)率(lv)(lv)分析和(he)測(ce)量(liang)值的(de)觸(chu)發(fa)記錄(lu)之外，這還可(ke)(ke)以控制 X-Y 表和(he)外部(bu)頻(pin)率(lv)(lv)發(fa)生器。更廣(guang)泛的(de)測(ce)量(liang)序列可(ke)(ke)以使用(yong)腳(jiao)本(ben)自動化(hua)。

高精度、非接(jie)觸(chu)式振(zhen)動測量和微(wei)小物體靜(jing)態撓度測量

直接測量位移

靈活的樣品定位

各種可(ke)更換鏡(jing)頭（10x、50x）

用(yong)于(yu)監控測(ce)量對象的 USB 攝像頭

應用程序特定配置

用于光譜分析的(de) FFT 軟件

Windows 和 Linux 下 OEM 軟件的開放(fang)接(jie)口

顯微鏡頭(tou)也可(ke)作(zuo)為 OEM 模塊單獨提供