用于(yu)三維坐標(biao)測(ce)(ce)量(liang)的(de)(de)納米定位和納米測(ce)(ce)量(liang)機工作在(zai) 25 mm x 25 mm x 5 mm 的(de)(de)測(ce)(ce)量(liang)范圍內,分辨率為 0.1 nm。特殊的(de)(de)傳(chuan)感(gan)器布置(zhi)確保在(zai)所有三個坐標(biao)軸上進行無誤差測(ce)(ce)量(liang). 三個帶(dai)有用于(yu)長度測(ce)(ce)量(liang)的(de)(de)平面鏡反射(she)器的(de)(de)微型干涉儀的(de)(de)測(ce)(ce)量(liang)軸在(zai)接觸(chu)式(shi)傳(chuan)感(gan)器與測(ce)(ce)量(liang)對象的(de)(de)接觸(chu)點處幾乎相交。測(ce)(ce)量(liang)對象直接位于(yu)可移動的(de)(de)鏡角上。鏡角的(de)(de)位置(zhi)由(you)三個固定的(de)(de)微型干涉儀記錄。鏡角采用三軸驅動系統定位。定位過(guo)程中的(de)(de)角度偏差通過(guo)兩個角度傳(chuan)感(gan)器進行測(ce)(ce)量(liang)和校(xiao)正。
高精度的3D多傳感(gan)器定位和測量系統
在所有三個測量軸上都實現了阿貝(bei)比較器原理
可(ke)選的(de)探測系統用(yong)作(zuo)零指示器(qi)并且(qie)是可(ke)互換的(de)