用(yong)于(yu)校(xiao)準(zhun)(zhun)平(ping)行(xing)(xing)量(liang)(liang)塊(kuai)(kuai)(kuai)的(de)(de)(de)(de)量(liang)(liang)塊(kuai)(kuai)(kuai)測(ce)(ce)試站 EPP 使用(yong)激光干涉測(ce)(ce)量(liang)(liang)探頭(tou) LM 20 作為(wei)上測(ce)(ce)量(liang)(liang)探頭(tou)。測(ce)(ce)量(liang)(liang)范圍(wei)為(wei) 20 mm,分(fen)辨率為(wei) 1 nm。Physikalisch-Technische Bundesanstalt Braunschweig 確(que)定了(le)一個該探頭(tou)的(de)(de)(de)(de)量(liang)(liang)塊(kuai)(kuai)(kuai)校(xiao)準(zhun)(zhun)的(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)量(liang)(liang)偏差小于(yu) 10 nm。根據(ju) PTB 的(de)(de)(de)(de)建議,對(dui)于(yu) 122 塊(kuai)(kuai)(kuai)量(liang)(liang)塊(kuai)(kuai)(kuai)組(zu),所需的(de)(de)(de)(de)標準(zhun)(zhun)量(liang)(liang)塊(kuai)(kuai)(kuai)數量(liang)(liang)可以減少到 15 個。量(liang)(liang)塊(kuai)(kuai)(kuai)檢查裝(zhuang)置的(de)(de)(de)(de)線性(xing)誤差(未(wei)對(dui)準(zhun)(zhun)、探頭(tou)未(wei)對(dui)準(zhun)(zhun)、溫(wen)度影響)可以通過校(xiao)準(zhun)(zhun)程序(xu)確(que)定和校(xiao)正。量(liang)(liang)塊(kuai)(kuai)(kuai)測(ce)(ce)試站的(de)(de)(de)(de)便捷操作以及測(ce)(ce)量(liang)(liang)值的(de)(de)(de)(de)校(xiao)正、評估和輸出通過帶有“PEKAL”軟(ruan)件(jian)(平(ping)行(xing)(xing)量(liang)(liang)塊(kuai)(kuai)(kuai)校(xiao)準(zhun)(zhun))的(de)(de)(de)(de)PC進(jin)行(xing)(xing)。
校準(zhun)一(yi)套(tao) 122 件(jian)套(tao)只需大約 15 個標準(zhun)件(jian)
由于重新校準(zhun)工(gong)作量低(di)而節省成本
通過(guo)用戶(hu)指導的測量(liang)過(guo)程(cheng)和(he)少量(liang)標(biao)準(zhun)量(liang)塊節省(sheng)測量(liang)時間
可(ke)以校準(zhun)不尋常的標稱(cheng)尺寸和材料
整個測量范(fan)圍內的高線性度
在整個測(ce)量(liang)范圍(wei)內恒定的測(ce)針測(ce)量(liang)力
使(shi)用“PEKAL”評估軟(ruan)件校(xiao)正(zheng)測試對象和常溫