LM 系列(lie)激光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)測(ce)(ce)量(liang)(liang)探(tan)頭是長度測(ce)(ce)量(liang)(liang)設備。使用這些探(tan)頭，可以在 20 或(huo) 50 毫米的(de)(de)測(ce)(ce)量(liang)(liang)范(fan)圍內(nei)以納米精度進(jin)行(xing)觸覺測(ce)(ce)量(liang)(liang)。 由于其尺寸和 Ø 8h6 的(de)(de)夾持柄(bing)直徑，測(ce)(ce)量(liang)(liang)探(tan)頭與(yu)傳統(tong)測(ce)(ce)量(liang)(liang)系統(tong)兼容。集成的(de)(de)激光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)儀(yi)將電機驅(qu)動的(de)(de)測(ce)(ce)量(liang)(liang)套筒的(de)(de)測(ce)(ce)量(liang)(liang)運動轉換(huan)為干(gan)涉(she)(she)信(xin)(xin)號。該光(guang)(guang)(guang)(guang)學測(ce)(ce)量(liang)(liang)信(xin)(xin)號通過(guo)光(guang)(guang)(guang)(guang)纜傳輸(shu)(shu)到(dao)光(guang)(guang)(guang)(guang)電供電和評估單元，并作為長度值輸(shu)(shu)出。穩定的(de)(de) He-Ne 激光(guang)(guang)(guang)(guang)器(qi)（其光(guang)(guang)(guang)(guang)通過(guo)光(guang)(guang)(guang)(guang)纖饋送到(dao)激光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)儀(yi)）以及(ji)對環境對激光(guang)(guang)(guang)(guang)波長的(de)(de)影響(xiang)的(de)(de)校正(zheng)是高測(ce)(ce)量(liang)(liang)精度的(de)(de)基礎。操作和顯(xian)示通過(guo)單獨的(de)(de)顯(xian)示器(qi)或(huo)通過(guo)帶有軟(ruan)件的(de)(de) PC 進(jin)行(xing)。

通過激光干涉測量方法獲得(de)高精度和準確(que)度

高頻穩定性氦(hai)氖激光(guang)器作為材料測量

在整個測量(liang)范圍內恒(heng)定(ding)的測量(liang)力

在整個測量(liang)范(fan)圍(wei)內具有良好的線性度

探頭的光纖耦合

抗電磁場