我們的(de)(de)超穩(wen)定(ding)差分激光干(gan)涉儀SP 5000 DI具有(you)獨特的(de)(de)熱(re)穩(wen)定(ding)性，因此是(shi)研發中長期測(ce)量的(de)(de)選(xuan)擇，例如用于材料性能分析。

與標準干(gan)涉儀不同，在差分(fen)(fen)型(xing)中，參考光(guang)(guang)束從傳感(gan)器頭引出，并平行于(yu)測量(liang)(liang)光(guang)(guang)束。這(zhe)一(yi)概念允(yun)許將傳感(gan)器放置(zhi)在離實(shi)際測量(liang)(liang)位(wei)置(zhi)更大的(de)距離處，而(er)不會顯著影(ying)響測量(liang)(liang)的(de)分(fen)(fen)辨率或穩(wen)定性(xing)。該(gai)干(gan)涉儀的(de)長(chang)度(du)分(fen)(fen)辨率在亞納米(mi)范圍內，并且(qie)由于(yu)微分(fen)(fen)原(yuan)理(li)，即使在正常的(de)實(shi)驗(yan)室條件下(xia)，也可以在類似(si)的(de)測量(liang)(liang)或光(guang)(guang)束長(chang)度(du)下(xia)實(shi)現。

如果使(shi)用傾斜(xie)不變(bian)反射器進行測(ce)(ce)量，則長度測(ce)(ce)量的測(ce)(ce)量范圍可(ke)以是幾米。干涉(she)測(ce)(ce)量系(xi)統具有模塊化(hua)設計，并且因此可(ke)以適用于相應的測(ce)(ce)量任務。

調整(zheng)很簡單，特(te)別(bie)是可以長期穩定(ding)地實現。對基于SP 5000 DI干(gan)涉儀的(de)干(gan)涉多(duo)軸系(xi)統的(de)擴展允許同時進行多(duo)坐標測量。

• 高精度的差動長度或角度測量
• 通過差分測量更小化環境影響
• 熱長期穩定傳感器，溫度靈敏度<20 nm/K
• 可以使用各種光學反射器，例如球面、平面反射鏡反射器
• 測量反射鏡的大傾角不變性
• 標準不銹鋼傳感器頭設計
• 光束距離：21毫米
• 廣泛的觸發器選項
• Windows和Linux下OEM軟件的開放接口

球反射(she)器(qi)直徑15毫(hao)米

球形反射器單元

環境校正

產地：德國

位移測量范圍：5 m

位移分辨率(lv)：5 pm

角度測量范圍

帶反射器：±12.5°

帶平(ping)面鏡（建(jian)議距離≤2m）：±1.5弧分

光束距(ju)離(li)（標準）：21 mm

波(bo)長：632.8 nm

HeNe激光(guang)器的頻率穩(wen)定性（預熱(re)時間之后）：2·10-8

HeNe激(ji)光器的(de)預熱時間：10 ... 20 min

工作溫度范圍(wei)：15 ... 30°C

測量反射鏡的位移速度：max.3 m /s

傳感器頭和電(dian)子(zi)單元(yuan)之間的電(dian)纜(lan)長度：3 m，max.10 m

電(dian)源：100 ... 240 VAC / 47 ... 63 Hz

尺寸（長x寬x高）

傳感器頭（帶基板(ban)）：150 x 140 x 43 mm

電子供應(ying)和評(ping)估單(dan)元（標準）：450 x 400 x 150 mm

電子供(gong)應和評估單元（緊湊）：250 x 400 x 150 mm

重量

感(gan)測頭：2.0 kg

底盤：1.5 kg

差分激光干涉(she)儀可作為OEM版本(ben)提(ti)供(gong)，可作為編碼器安裝在(zai)機器軸上。對于真空測量，SP 5000 DI可作為真空優(you)化版本(ben)提(ti)供(gong)。

標準光(guang)束(shu)距離為21毫米(mi)。我們可根據要(yao)求(qiu)提供其(qi)他(ta)光(guang)束(shu)距離。