ECS 5 端口 3 位(wei) (5/3) 伺(si)服比(bi)例方向(xiang)閥(fa)(fa)設(she)計用(yong)于使用(yong)壓縮空(kong)氣(qi)和(he)(he)其他中性氣(qi)體運(yun)行(xing)。其高頻響應 (110 Hz)、壓力(li)平衡設(she)計和(he)(he)低泄漏（100:1 調節比(bi)）使其成為開環(huan)和(he)(he)閉環(huan)控制系統的選(xuan)擇。ECS 高速伺(si)服比(bi)例方向(xiang)控制閥(fa)(fa)有兩種不(bu)同的流(liu)量選(xuan)項(xiang)，訂(ding)貨代碼 01 和(he)(he) 05，可在(zai)(zai)高流(liu)量和(he)(he)低流(liu)量應用(yong)中實(shi)現(xian)大分辨率。借助兩個研磨閥(fa)(fa)芯和(he)(he)閥(fa)(fa)套(tao)，閥(fa)(fa)門的閘門元件(jian)，可在(zai)(zai) vac...20.7 bar (vac...300 psig) 的寬壓力(li)范(fan)圍內實(shi)現(xian) 0 至(zhi) 585 slpm 的流(liu)量。

5/3 雙向比(bi)例流控制

直動式直線力馬達

無(wu)限可變閥門(men)定位（3 個位置）

低滯后

高帶寬

壓力平衡設計

快速換檔時間

低泄漏