高(gao)純度(du) ALD3 和(he) ALD6 閥(fa)旨在為半(ban)導體(ti)制造商(shang)提(ti)供(gong)可靠、高(gao)速(su)的(de)(de)前體(ti)氣體(ti)計量，用(yong)(yong)于在沉積(ji)室中逐層構建微(wei)芯(xin)片。高(gao)純 ALD3 和(he) ALD6 閥(fa)門可設置為常閉和(he)常開氣動(dong)驅(qu)動(dong)，它們有多(duo)種配置可供(gong)選擇，包(bao)括兩端口直管和(he)彎管設計；二通、三通和(he)四通多(duo)通閥(fa)和(he)多(duo)閥(fa)歧管；以及 1.125 英寸（限 ALD3 系列）和(he) 1.5 英寸平臺中的(de)(de)二端口和(he)三端口模塊化表面安裝(zhuang)閥(fa)。可用(yong)(yong)的(de)(de)熱(re)致動(dong)器(qi)、位置傳感器(qi)、螺(luo)線管和(he)可選的(de)(de)用(yong)(yong)于容納加熱(re)器(qi)筒的(de)(de)主體(ti)孔都可以根據(ju)用(yong)(yong)戶(hu)的(de)(de)特定過(guo)程(cheng)為用(yong)(yong)戶(hu)提(ti)供(gong)額外的(de)(de)價值。

具(ju)有(you)高(gao)速驅動的高(gao)循(xun)環(huan)壽命(ming)

流(liu)(liu)量系(xi)數范圍從 0.27 到 0.62，可提供自定義流(liu)(liu)量系(xi)數

使用可選的熱致動(dong)器可完全浸入高達 392°F (200°C) 的溫度

適用于采用標(biao)準 316L VIM-VAR 不銹鋼閥體的高(gao)純(chun)度應用

模塊化表面安裝、管對(dui)接焊和世偉洛(luo)克 VCR端接

電(dian)子或光學致動器位(wei)置(zhi)感應選項

ALD3 和 ALD6 隔膜由鈷基(ji)高(gao)(gao)溫合(he)金材料組(zu)成(cheng)，具(ju)(ju)有強度和耐腐蝕性；閥體由 316L VIM-VAR 不銹鋼制成(cheng)，適(shi)用于高(gao)(gao)純應用；閥座由全氟化高(gao)(gao)純度 PFA 組(zu)成(cheng)，具(ju)(ju)有廣泛(fan)的化學兼容性和抗溶脹(zhang)性和抗污染性。