泄(xie)漏(lou)閥用于對從(cong)外部進入真空系(xi)(xi)統的(de)(de)氣(qi)體流量(liang)進行可重復(fu)的(de)(de)準確控(kong)制。該系(xi)(xi)列(lie)泄(xie)漏(lou)閥是需要(yao)經濟有(you)效的(de)(de)精細和超精細氣(qi)體入口控(kong)制的(de)(de)系(xi)(xi)統制造商的(de)(de)適配(pei)之選(xuan)。LVM 系(xi)(xi)列(lie)在寬動態范圍內(nei)具(ju)有(you)良好的(de)(de)響應和可重復(fu)性。其(qi)設(she)計幾乎去除(chu)了滯后現象,而(er)(er)且內(nei)部體積(ji)小,可快速清理。LVM 閥門配(pei)備的(de)(de)超精細控(kong)制執行器(qi)可提高性能(neng),從(cong)而(er)(er)提供高靈敏度。
手動全金屬直角
入(ru)口壓力(li)高達 10 巴(ba),提供高穩定(ding)性控(kong)制
控制機構,反向間隙小
可調刻度分度環
動態范圍廣
可提供各種安裝法蘭
用戶可自行維修
304 L 不銹鋼機(ji)身和馬洛里密封墊(dian)
工作壓(ya)力范圍為 10 至(zhi) 11 mbar
可烘烤至 450 ℃
提供電動選項
產地:英國
DN 類型:DN 19
軸向/徑(jing)向法蘭:Fixed 34
進(jin)口管外(wai)徑:6.4 mm
出口管外徑:14 mm
Max入口壓(ya)力:10 bar
Max工作范圍:100 mbar
Min工作范圍:1x10-11 mbar
打開時傳導率:0.1 l.s-1
泄漏率 關閉:1x10-12 mbar.l.s-1
開啟(qi)烘(hong)烤溫度:450 ℃
關閉烘烤溫度(du):250 ℃
對從外部進入真空(kong)系統的(de)氣體流(liu)量進行可重復的(de)準確(que)控制