FormFactor 的 Cascade PM8 手動(dong)探針系統旨在(zai)為高達(da) 200 mm 的分(fen)析探測(ce)(ce)應用提供(gong)高度穩定、符合人體工(gong)程學和(he)靈活的探測(ce)(ce)平臺(tai)，例如器件和(he)晶圓(yuan)表征、故障(zhang)分(fen)析 (FA)、RF/mmW/sub-THz探測(ce)(ce)和(he) MEMS。創新的精細滑動(dong)卡盤平臺(tai)提供(gong)大范圍粗動(dong)和(he)微米級(ji)微動(dong)，

簡化測(ce)量(liang)。花崗巖板(ban)可以承受任何熱或機(ji)械影響(xiang)，并確保(bao)完整的系統(tong)穩定性。PM8 的堅固結構非常適合所有(you)高達亞太赫茲范圍的射頻(pin)應用，由 WinCal XE 校準軟件支持，包括 LRRM、LRM+、NIST 風格(ge)的 TRL 和混合校準方(fang)法。

獨(du)特的(de)可(ke)移動顯微(wei)鏡橋選件可(ke)輕松且符(fu)合人(ren)體工(gong)程學地(di)對高達 200 毫(hao)米的(de)觀察系統進(jin)行粗(cu)調(diao)和(he)微(wei)調(diao)，從(cong)而使所有(you) FA 和(he)檢測任務以(yi)及晶(jing)圓(yuan)級(ji)可(ke)靠(kao)性 (WLR) 測試(shi)變得容易。PM8 可(ke)以(yi)使用(yong)(yong)各(ge)種附件進(jin)行升級(ji)，例如用(yong)(yong)于(yu)(yu) FA 應用(yong)(yong)的(de)激光切割機(ji)和(he)遙控手動定位器(qi)，以(yi)及用(yong)(yong)于(yu)(yu)校準基板和(he)拋光墊(dian)的(de)特殊設計的(de)卡(ka)盤，用(yong)(yong)于(yu)(yu)高頻應用(yong)(yong)。探(tan)針(zhen)卡(ka)可(ke)以(yi)很容易地(di)用(yong)(yong)于(yu)(yu)測試(shi)，并且可(ke)以(yi)通過少的(de)設置(zhi)調(diao)整來測試(shi)封(feng)裝的(de)部件。

• 力學

高穩定性花崗巖底座

X 軸和(he) Y 軸的獨立粗略移動，結(jie)合低至亞微(wei)米范圍的輕(qing)松微(wei)調

1 µm 可重(zhong)復分離行(xing)程(cheng)

高測量精度和(he)可(ke)重復性(xing)

快速導(dao)航和高(gao)精度探頭(tou)定(ding)位

• 高靈活性

可針對 DC、RF、mmW、FA、WLR 等重新配(pei)置

多種附(fu)件：熱卡盤(pan)、電動顯微鏡(jing)和定位器、暗盒(he)等(deng)

40 毫米壓板高(gao)度可調

升級路徑以滿(man)足您未來的需(xu)求

晶圓和封裝(zhuang)測試(shi)之間的快速轉(zhuan)換

• 便于使用

低調、簡單的設計

簡單且符合(he)人體工(gong)程(cheng)學的操作

• 雙面選項

正面或背(bei)面儀器，例如：積分球、光纖(xian)設置、壓(ya)力模(mo)塊(kuai)

正面或背面探測能力

訪問(wen)被(bei)測設備 (DUT) 的(de)頂部和底部

高精度光測量

PS-ACC-HDTV：

兼容 EPS200MMW、EPS200RF、PM8-COAX-PCKG、PM8-COAX-HR-PCKG 和 PM8-FA-PCKG 的 C 接口數字電(dian)視選項