膜(mo)組(zu)件(jian)適(shi)合(he)脫(tuo)氣(qi)、給氣(qi)的結(jie)構(gou)，它不(bu)透液體,只透氣(qi)體。選項(xiang)多(duo),以多(duo)種類型(xing)迎合(he)多(duo)種用途-可(ke)(ke)膜(mo)內處理。膜(mo)外部磨(mo)皮減少(shao)結(jie)露(lu)的產(chan)生，不(bu)使用氮氣(qi),能(neng)提高一定的效(xiao)率，可(ke)(ke)按不(bu)同組(zu)件(jian)可(ke)(ke)脫(tuo)至達ppb單位。

顯影液用

處理流量大

產地：韓國

膜材料：PFA

膜面積：約0.33 m²

本體（真空(kong)側(ce)）：SUS 304

接頭（潤濕側）：PTFE

標(biao)準流速：50 CC/min

標準流量時的壓力損失：0.05 MPa(0.05 kg/cm²)

除氣性(xing)能(neng)：8.4 ppm以(yi)下(xia)⇒7.2 ppm以(yi)下(xia)

脫氣標準：22~24 ℃ 超(chao)純水

連(lian)續流量：50 kΩ

連續流(liu)速：50 CC/min

真空壓力(li)：100 Torr

尺寸：Ø 102 × 155 mm（不(bu)包括配(pei)件）

液(ye)體入(ru)口直徑：Ø6管接頭

液體出口直(zhi)徑：Ø6管接頭

真空(kong)孔：PT 1/ 4

Max液(ye)體溫度：40 ℃或(huo)以下(xia)

Max工作壓力：0.2 MPa(0.2 kg/cm²)指模塊內部壓力

正常壓力：0.2 MPa(0.2kg/cm²)

水容量：200 ml

去(qu)離子水的(de)脫氣、超(chao)音波(bo)清(qing)洗用水脫泡(pao)沫處理、含(han)有(you)表(biao)面活性劑的(de)液(ye)體(ti)