常規隔膜閥(CDV)系(xi)列(lie)包(bao)括超高純版本(ben),根據相關SEMI規范制造,具(ju)有(you)更(geng)高的可靠性。
1、 閥(fa)體316L SST SEMI F20
2、 閥(fa)座PCTFE
3、 隔膜(mo)Elgiloy
4、 按鈕316L不(bu)銹(xiu)鋼
5、 閥蓋303 SST
6、 螺母303 SST
7、 執(zhi)行機構陽極氧化鋁
產地:美國
氣動工作壓力(li):真空至150 PSIG
¼手動(dong)工作壓力:真空至250 PSIG
混合工(gong)作壓力:真空至150 PSIG
防(fang)爆(bao)壓(ya)力:1.5 x工作(zuo)壓(ya)力
爆裂壓(ya)力(li):4500 PSIG
表面粗糙度
標準(zhun):≤16 Ra µ inch
高(gao)純度:6-10 Ra µ inch
超高(gao)純度:≤5 Ra µ inch
流量系(xi)數:Cv=0.3
氣動執行機構驅動壓力:65-125 PSIG
卡套(tao)管集成(cheng)接頭:1/8“-27 NPT 1/8”,M5氣(qi)動或(huo)1/8“
手(shou)動(dong)和(he)混合執行器:¼轉手(shou)動(dong)
內側泄漏率:≤10-9 atm cc He/sec
外側泄漏率:≤10-9 atm cc He/sec
通過閥座的泄(xie)漏率:≤10-9 atm cc He/sec
溫度,閥座材料:
-40°F至150°F(-40°C至66°C),PCTFE
-40°F至(zhi)300°F(40°C至(zhi)150°C)、PEEK
-15°F至(zhi)300°F(-10°C至(zhi)150°C),PFA,VESPEL