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ICHOR隔膜閥CDV

  • 品  牌:ICHOR
  • 型(xing)  號:CDV
  • 技術資料:
  • 閱讀次數:717

產品(pin)介紹

常規隔膜閥(CDV)系(xi)列(lie)包(bao)括超高純版本(ben),根據相關SEMI規范制造,具(ju)有(you)更(geng)高的可靠性。

性(xing)能特點

  • 閥座設計和雙層隔膜可延長循環壽命并減少顆粒產生。
  • 完全清掃潤濕路徑,以減少截留,促進吹掃,更大限度地提高Cv,同時更小化內部體積。
  • 氣動執行器可在執行時快速響應。
  • 手動和混合執行器指示可視的四分之一圈打開和關閉位置。
  • 可根據要求提供自定義配置。

選型指南

產品結構與細(xi)節(jie)

 

1、 閥(fa)體316L SST SEMI F20

2、 閥(fa)座PCTFE

3、 隔膜(mo)Elgiloy

4、 按鈕316L不(bu)銹(xiu)鋼

5、 閥蓋303 SST

6、 螺母303 SST

7、 執(zhi)行機構陽極氧化鋁

技(ji)術參數

產地:美國

氣動工作壓力(li):真空至150 PSIG

¼手動(dong)工作壓力:真空至250 PSIG

混合工(gong)作壓力:真空至150 PSIG

防(fang)爆(bao)壓(ya)力:1.5 x工作(zuo)壓(ya)力

爆裂壓(ya)力(li):4500 PSIG

表面粗糙度

標準(zhun):≤16 Ra µ inch

高(gao)純度:6-10 Ra µ inch

超高(gao)純度:≤5 Ra µ inch

流量系(xi)數:Cv=0.3

氣動執行機構驅動壓力:65-125 PSIG

卡套(tao)管集成(cheng)接頭:1/8“-27 NPT 1/8”,M5氣(qi)動或(huo)1/8“

手(shou)動(dong)和(he)混合執行器:¼轉手(shou)動(dong)

內側泄漏率:≤10-9 atm cc He/sec

外側泄漏率:≤10-9 atm cc He/sec

通過閥座的泄(xie)漏率:≤10-9 atm cc He/sec

溫度,閥座材料:

-40°F至150°F(-40°C至66°C),PCTFE

-40°F至(zhi)300°F(40°C至(zhi)150°C)、PEEK

-15°F至(zhi)300°F(-10°C至(zhi)150°C),PFA,VESPEL


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