MProbe Vis-Thin 薄膜測量系(xi)(xi)統是一(yi)(yi)款結構緊湊、功能多(duo)樣的(de)(de)(de)臺式系(xi)(xi)統。它(ta)(ta)可(ke)以測量不同基底上 10nm - 150µm 厚度范圍內的(de)(de)(de)半透(tou)明薄膜。而且，它(ta)(ta)經濟實惠(hui)，使(shi)用(yong)方便(bian)。MProbe Vis(X) 的(de)(de)(de)生產版本可(ke)承受振動，并(bing)可(ke)通過局(ju)域網連接(jie)24小時(shi)運(yun)行。它(ta)(ta)可(ke)用(yong)于在(zai)線和 OEM 應用(yong)。它(ta)(ta)與(yu)無塵室環境(jing)兼容。MProbe20 VisX 系(xi)(xi)統是 MProbe20 Vis 系(xi)(xi)統的(de)(de)(de)一(yi)(yi)個版本，在(zai)更(geng)長(chang)波長(chang)（> 700 nm）下的(de)(de)(de)靈(ling)敏度有所(suo)提高(gao)。

靈活性高

500 多種擴展材料數據庫

可以(yi)處理復雜的應(ying)用，沒有層數(shu)限制，支持(chi)背面(mian)反(fan)射率、表面(mian)粗(cu)糙度(du)、暗淡(dan)度(du)等(deng)。

集成(cheng)：輕(qing)松集成(cheng) TCP 服務器

經濟實惠，性價比高

主機（包括(kuo)光譜儀、光源(yuan)）

SH200A 樣品臺，帶聚焦鏡頭和微調裝置(zhi)

光纖反射探頭

TFCompanion -RA 軟件(jian)、USB許可(ke)證密鑰、包(bao)含軟件(jian)發布、用戶指南和(he)其他材料的(de) USB 記憶棒

USB / LAN 電(dian)纜

24VDC 電(dian)源適配器（110/220V）

產地：美國

厚(hou)度范圍： 10 nm - 150 μm

波(bo)長范圍： 400nm -1000nm（典型(xing)校準范圍：380-1050nm），VisX 為 450nm -1050nm

波長分辨率： < 小于 1 nm，狹(xia)縫為(wei) 20 微米(mi)（整個(ge)光譜(pu)均勻一致）

連接： USB / 1 GbE LAN

數據(ju)采集(ji)速率：1.5kHz（Max）

測量時間：10秒（Min）

精度：<0.01nm 或 0.02%（在 200nm 氧化(hua)物上進行(xing) 100 次測量的(de) s.d.）。

準確度：<1nm 或 0.2%（取決于薄(bo)膜(mo)疊層）

穩定(ding)性：< 0.02nm 或 0.2%（每天測量 20 天）

光斑尺寸：< 1 mm

樣品尺寸：>= 10 mm

光源：5W TH 燈，10000 小時壽命(ming)（可選：20W TH 燈，2000 小時壽命(ming)）

可(ke)快(kuai)速可(ke)靠地測量大多數半透明或輕吸收(shou)薄膜： 氧化物(wu)(wu)、氮化物(wu)(wu)、光刻膠、聚(ju)合物(wu)(wu)、半導體（硅、砷化鎵、aSi、聚(ju)硅等）、硬(ying)涂(tu)層(ceng)（SiC、DLC、AlN）、聚(ju)合物(wu)(wu)涂(tu)層(ceng)（Paralene、PMMA、聚(ju)酰胺）、ITO、電池間隙(xi)、氧化鋁、薄金屬(shu)膜（<50 納米(mi)）等。