ResMap Model 178已成(cheng)(cheng)為成(cheng)(cheng)本效益電(dian)阻率測量的行業標準(zhun)。該(gai)四(si)點探針(zhen)旨在(zai)滿(man)足工藝開發和(he)工具表(biao)征工程師的需(xu)(xu)求，具有所(suo)需(xu)(xu)的準(zhun)確(que)性(xing)、可(ke)重復(fu)性(xing)和(he)可(ke)靠性(xing)。其龐大的安(an)裝基礎證明了其性(xing)能、易(yi)用性(xing)和(he)低(di)擁(yong)有成(cheng)(cheng)本。

CDE的(de)成立旨在為半(ban)導(dao)體(ti)及相關行業開(kai)發和制造高性(xing)能、高性(xing)價比(bi)的(de)晶圓計(ji)量(liang)工(gong)具(ju)。CDE ResMap是一系(xi)列(lie)適用于(yu)各種應(ying)用的(de)自動電(dian)(dian)阻率測(ce)繪系(xi)統。4點(dian)探針測(ce)量(liang)工(gong)具(ju)是一種儀器，用于(yu)測(ce)量(liang)導(dao)電(dian)(dian)介質（通常是半(ban)導(dao)體(ti)應(ying)用的(de)薄膜）中的(de)薄層電(dian)(dian)阻（或Rs）。

• 準確性
• 可重復性
• 可靠性

• 晶片處理：手動裝載
• 晶圓尺寸：2英寸至8英寸
• 尺寸：12英寸x 19英寸x 10英寸
• 典型測量時間：每個站點1秒
• max吞吐量：每片晶圓1分鐘（49個站點）
• 測量范圍：2米?/-5米?/（可以優化到1米?/）
• 重復性（1σ，典型）：≤±0.02%（靜態或Rs-pack）；≤±0.1%（動態近點）
• 精度：使用NIST traceableResCal標準≤±0.5%
• min邊緣排除：1.5mm（探頭中心到薄膜邊緣）
• 交流電源：100V至240V<10 KVA
• 產地：美國