用于高(gao)度動態和振動敏感的機器和儀器的實時(shi)液位控制。

EPPC實時(shi)液位(wei)控制(zhi)可(ke)實現+/-10µm的生產精度(du)，并顯(xian)著減少偏(pian)轉(zhuan)和沉(chen)降(jiang)時(shi)間，以響應動態負載變化基于智能瀏覽器的用(yong)戶界面，用(yong)于設置(zhi)、診斷和監控。

電子(zi)氣動(dong)位置(zhi)控制(zhi)EPPC為高(gao)精度機器(qi)(qi)、高(gao)度動(dong)態和振動(dong)敏感的(de)測量機器(qi)(qi)、顯微(wei)鏡以及測試和生(sheng)產機器(qi)(qi)提供好(hao)的(de)振動(dong)隔離(li)。

EPPC可以與三到六(liu)個BiAir薄膜空氣彈簧控制(zhi)組(zu)組(zu)合，以控制(zhi)多達六(liu)個自由度。Bilz為系統設計提供各種不同尺寸的(de)空氣彈簧。

電子氣(qi)動液位控制系統與BiAir薄膜空氣(qi)彈(dan)簧相(xiang)結合，可實現位置精度，并(bing)減少動態(tai)負(fu)載變化時的(de)偏轉和沉降時間。

• 位置精度（+/-10µm）
• 可單獨調節的系統參數（如阻尼）
• 響應荷載變化的短撓度和沉降時間
• 每個自由度一個高性能伺服閥和一個位移傳感器
• 采用CAN總線技術的優化連接系統
• 基于瀏覽器的智能用戶界面，用于設置、診斷和監控，通過以太網連接，可進行遠程維護
• 操作員狀態顯示（例如準備就緒、工作位置、動作完成、錯誤）
• 用于外部控制和監控的數字I/O接口
• 高分辨率信號處理和伺服閥技術帶來的無噪聲控制
• 堅固可靠的空氣彈簧技術，可與Bilz BiAir®薄膜空氣彈簧結合使用
• 無干擾發熱、磁場波動或電磁執行器的高功耗

• 典型系統負載：800 kg–120.000 kg
• 垂直固有頻率：1,2–2,5 Hz
• 水平固有頻率：2,2–2,8 Hz
• 控制類型：伺服氣動
• 適合潔凈室：是
• 通信接口：以太網、數字I/O
• 產地：德國

-傳感器分辨率：

• 位移測量系統：0.76µm
• 壓力傳感器：0.36毫巴
• 采樣率傳感器信號：1 kHz（過采樣后）

• 高精度機器
• 振動敏感和高度動態的測量機
• 顯微鏡
• 半導體行業的測試和生產機器