用(yong)(yong)于激光故障(zhang)注(zhu)入的(de)S-LMS顯微(wei)(wei)鏡(jing)站是集成電路安全(quan)評估(gu)(gu)的(de)高精度(du)平臺。它允許將激光點聚焦(jiao)在芯(xin)片上并通過背面(mian)掃(sao)描(miao)(miao)樣(yang)品,以評估(gu)(gu)電子元件的(de)安全(quan)級別(bie)。S-LMS顯微(wei)(wei)鏡(jing)允許注(zhu)射、聚焦(jiao)和掃(sao)描(miao)(miao)一個激光點至1米的(de)點大(da)小,同時用(yong)(yong)紅外攝像機從背面(mian)觀察樣(yang)品。
980 和(he)/或 1064 nm 的單模激光
脈沖亞納秒到連續波
時(shi)間精度(du) <8 ps
頻率高達 250 MHz
>92% 透射(she)率
同軸紅外視覺
可以由(you)Python控(kong)制(zhi)和驅動
光電發射選項
激光熱刺激選項
esDynamic軟(ruan)件平(ping)臺(tai)
單模光纖激光器
|
PDM+/PDM+ HP |
PDM4+ and PDM4+ HP |
脈沖持續時間 |
從1.5納秒(miao)到(dao)連續波 |
從1.5納秒到連續波 |
峰值功率 |
高達3.2瓦 |
高達10瓦 |
波長 |
980納米;1064牛(niu)米 |
980納(na)米;1064牛米 |
重復率 |
從單發到250兆赫 |
從單發到250兆赫 |
命令接口 |
TTL/LVTTL /軟件& dlls |
TTL/LVTTL /軟件(jian)& dlls |
光束質量 |
單模 |
單模 |
InGaAs 紅外相機
Captor |
640x512 µm |
動態量程 |
140 dB |
接口 |
USB(包含軟件) |
電學
電壓 |
220 V/110 V |
電流 |
16 A |
自動位置調節系統
軸數 |
3 |
行程范圍 |
52 mm |
分辨率 |
0.315 µm |
重復性 |
+/- 0.8 µm |
速度(max.) |
20 mm/s |
故障注入
光發射
熱刺激