莫特(te)高(gao)(gao)純(chun)氣(qi)(qi)體(ti)過(guo)濾器可(ke)對低至0.0015μm的(de)顆粒(li)進(jin)行9對數過(guo)濾，從而(er)產生無顆粒(li)氣(qi)(qi)體(ti)。為(wei)了大限度(du)地提高(gao)(gao)氣(qi)(qi)體(ti)過(guo)濾效率、強度(du)和可(ke)靠性，GasShield POU全金屬氣(qi)(qi)體(ti)過(guo)濾器是超(chao)高(gao)(gao)純(chun)（UHP）氣(qi)(qi)體(ti)輸送應(ying)用(yong)的(de)理想選擇。它們與(yu)大多數高(gao)(gao)純(chun)度(du)電子級工藝氣(qi)(qi)體(ti)兼容(rong)。

不銹鋼過濾介質

• 操作條件：

max工作壓力(li)：3750 psig（258.5 barg）

惰性(xing)氣(qi)體的highest工作溫度：450°C

max壓(ya)差：1000磅/平方(fang)英寸（68.9巴）

• 材料：

五金(jin)件：316L SS

過(guo)濾介(jie)質：316L SS

潤(run)濕(shi)硬件表面光潔度：5 Ra，電拋光

• 過濾器效率（對數折減值）：

≥9 LRV（顆粒減(jian)少99.9999999%）。

根(gen)據(ju)SEMI F38-0699測試方法，確定(ding)最大穿透粒(li)度為0.08μm

• 顆粒去除尺寸：≥0.0015μm
• 氦氣泄漏等級：1 x 10-9 atm cc/sec
• 水分貢獻：根據SEMI F27測試方法，在低流量環境吹掃下1小時后<10 ppb
• 總碳氫化合物：低于SEMASPEC 90120396B測試方法的可檢測限值
• 顆粒脫落：根據SEMI F43-0308試驗方法，背景以上的顆粒貢獻為零（<1顆粒/ft³）
• 產地：美國

用于半導體(ti)(ti)(ti)、LED、光伏和MEMS設備連(lian)接(jie)的(de)超(chao)(chao)高(gao)壓(ya)氣(qi)體(ti)(ti)(ti)棒(bang)。閥門歧(qi)管箱(xiang)、氣(qi)體(ti)(ti)(ti)柜(ju)、工具(ju)隔(ge)離氣(qi)體(ti)(ti)(ti)箱(xiang)、車載(zai)氣(qi)體(ti)(ti)(ti)輸送(song)箱(xiang)中的(de)超(chao)(chao)高(gao)壓(ya)過濾或任何需(xu)要超(chao)(chao)高(gao)純度(du)顆粒去除的(de)工藝(yi)。