MM3A-EM探針站包括多達八(ba)個MM3A-EM微操作器，與我們的X和(he)Y方向(xiang)行程為30mm的遠程子階(jie)段相結合。子階(jie)段可(ke)以(yi)選(xuan)(xuan)擇性(xing)地配備位置(zhi)編碼器，可(ke)產生50nm的重復性(xing)。另一個選(xuan)(xuan)項(xiang)是(shi)添(tian)加一個范圍為3 mm的Z軸。

整個平臺(tai)(tai)可以在短短幾分鐘內安(an)裝在SEM的載物臺(tai)(tai)上，也可以很容易(yi)地(di)將其移除，以使顯(xian)微(wei)鏡恢復到以前的狀態。

MM3A-EM微操作器配備了低電流、低容(rong)量的測量能力，并(bing)與探(tan)測工(gong)具硬(ying)件和軟件套件完(wan)全(quan)兼容(rong)，包括帶電接觸(chu)測試儀和電子束感應電流成像模塊等(deng)。

該平臺還可(ke)以安裝溫(wen)度高達450°C的加熱臺。其他定制(zhi)可(ke)根據要求提(ti)供(gong)（e，g，集成LED照明）。

• 緊湊靈活

-易(yi)于(yu)安(an)裝和拆卸，具(ju)有(you)高度靈活性

-帶模(mo)塊化組件的(de)即(ji)插即(ji)用系統

-大(da)多數SEM/FIB儀器的接(jie)口(kou)解決方案

-快速設置

-大樣本的充足空間

-大工作范圍(wei)（30 mm x 30 mm子階段行(xing)程）

-開創性的布線技術

• 清晰簡單

-直觀的控制界(jie)面和(he)軟件

-用(yong)戶友好(hao)且易(yi)于學習

-快速簡便的探(tan)針頭(tou)更(geng)換

-緊湊、獨立的電子設備

-使用多個操(cao)縱器輕松工作

• 堅固穩定

-好的穩定性

-低漂移(yi)（1納米/分鐘(zhong)）

-可(ke)靠運行（一年(nian)耐久性試驗(yan)）

-幾乎不受振動影響

-手動快速預定位

• 快速準確

-高(gao)操作速(su)度（高(gao)達10毫米/秒）

-亞納米(mi)分辨率（0.25納米(mi)）

-無齒隙或反向間隙

-廣泛的工作范圍

-一個驅動器中(zhong)的(de)粗排量和細(xi)排量

• 總高度：31毫米
• 總寬度：180毫米
• max樣本尺寸：70 mm-70 mm，max高度10 mm
• 重量：~1200克

三軸微型操作器

A=左/右(you)B=上/下C=進/出

• 工作范圍：A=240°，B=240°，C=12mm
• 分辨率A:7 x 10–9 rad（0.5 nm）
• 分辨率B:7 x 10–9 rad（0.2 nm）
• 分辨率C:<0.05 nm
• 低漂移：1納米/分鐘

低容量、低電流測量

• 噪音：25 fA@1 Hz
• 絕緣泄漏電流：<50 fA/V
• 信號導體電阻：<5?
• max電壓：100 V
• max電流：100 mA

變電站

• 行程X和Y：28.5毫米
• 速度：highest 2 mm/s
• 分辨率：＜0.5 nm
• 重復性：50 nm（可選）
• 角度偏差：<1µrad
• 負載：500 g
• 可選Z驅動范圍：3毫米
• Z提升能力：25 g
• 溫度范圍：273 K至353 K
• 特高壓版本：273 K至393 K
• min壓力：10-7毫巴
• 超高壓版本：2 x 10-10毫巴
• 變電站安裝：4 x 3.2 mm孔
• 樣品安裝：夾子或2 x M3孔

產地：德國

• 納米拋光
• 故障分析
• 低電流晶體管測試