帶燈加熱的(de)直接(jie)液體噴射汽化(hua)器(qi)使(shi) MC-050成為一(yi)(yi)種(zhong)獨特的(de)機器(qi)，具有像集群工具一(yi)(yi)樣的(de)多工藝能力，但(dan)在(zai)一(yi)(yi)個單一(yi)(yi)的(de)工藝室內。

Annealsys MC-050系統是為滿足研發單(dan)位的要(yao)求(qiu)而開發的2英寸DLI-CVD/DLI-ALD反應(ying)器。

紅外燈爐與直接液(ye)體注入蒸發(fa)器相(xiang)結合，在同(tong)一工(gong)藝室內(nei)提供(gong)獨特的多(duo)工(gong)藝能力：CVD、ALD、MOCVD、RTP 和 RTCVD。

直(zhi)接(jie)液體(ti)注入 (DLI) 蒸(zheng)發器可控(kong)制(zhi)前(qian)體(ti)流(liu)量，并允許(xu)使用低蒸(zheng)氣壓(ya)和稀釋的(de)化學前(qian)體(ti)。與旁通閥相關(guan)的(de)前(qian)體(ti)蒸(zheng)汽流(liu)的(de)快速切換為納米層壓(ya)板的(de)沉積提供了界(jie)面(mian)控(kong)制(zhi)。

MC-050是使用(yong)廣泛的(de)固(gu)體和(he)液體有機金(jin)屬(shu)前體開發新材(cai)料(liao)和(he)納米層(ceng)壓材(cai)料(liao)的(de)機器。

MC-050 可以(yi)使(shi)用廣泛的(de)有(you)機金屬前體(ti)進行(xing)化學氣相沉積和(he)原子層沉積工藝(yi)，同時提供原位退(tui)火功能(neng)。

• 氣體混合能力與質量流量控制器
• 6個汽化器
• 手套箱裝載選項
• 可選擇高真空能力

MC-050可(ke)配備6個(ge)直接(jie)液體(ti)注入蒸發器和兩個(ge)用于(yu)高(gao)蒸氣壓前體(ti)的起泡器。

• 高溫計溫度控制
• 粗真空泵、渦輪泵
• 手套箱接口和手套箱
• 遠程等離子
• 臭氧發生器

• 基板尺寸：直徑可達2英寸
• 溫度范圍：室溫至 1100°C
• 電壓：3x400V+N+Gr/3x220V+Gr
• 功率：21千瓦
• 水：2至4巴，壓降1巴，8升/分鐘
• 壓縮空氣：6巴（閥門驅動）
• 真空范圍：大氣壓至 10-3 Torr
• 產地：法國

MC-050提供了廣泛的新(xin)材料(liao)開發能力，包括單金屬(shu)氧(yang)化(hua)物和多金屬(shu)氧(yang)化(hua)物以及(ji)過渡(du)金屬(shu)●二(er)硫化(hua)物 (TMD) 和其他二(er)維材料(liao)。

• 簡單和多金屬氧化物
• 金屬、氮化物和合金
• III-V，寬帶隙半導體
• 二維材料：石墨烯、氮化硼、MoS2、WS2、MoSe2、WSe2 ...
• ETC