Sierra的(de)(de)(de)SmartTrak 100熱(re)質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)控(kong)制(zhi)器是(shi)一款(kuan)多氣體數字MFC,旨在(zai)提供您(nin)每次可(ke)(ke)依靠的(de)(de)(de)平穩,穩定(ding),準確(que)和(he)可(ke)(ke)重復的(de)(de)(de)氣體質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)控(kong)制(zhi)。不受上游氣體溫度(du)和(he)壓(ya)力波動的(de)(de)(de)影(ying)響,Sierra SmartTrak 100的(de)(de)(de)氣體質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)控(kong)制(zhi)是(shi)直接而明確(que)的(de)(de)(de)。SmartTrak已獲得(de)CE認證,可(ke)(ke)在(zai)您(nin)指定(ding)的(de)(de)(de)較(jiao)大流量(liang)(liang)范(fan)圍(wei)(高(gao)達1000 slpm或更(geng)高(gao))下使用,具(ju)有各種尺寸,工業(ye)防水外(wai)殼,工作壓(ya)力和(he)溫度(du)以及行業(ye)尺寸。
采用熱技(ji)術的直接質(zhi)量(liang)流量(liang)+/- 0.5%滿量(liang)程(cheng)精度。
多氣(qi)體(ti)數字質量流量控制(zhi)器。
50 slpm的占地面積小,非常適合OEM。
主要標準的10點NIST校(xiao)準。
所(suo)有清潔氣體,包括有毒(du)和腐蝕性
高精度:滿(man)量(liang)程的+/- 0.5%
精度:滿(man)量程的+/- 1%
重復性(xing):滿(man)量程的+/- 0.2%
流量范(fan)圍從(cong)0-10 sccm到0-1000 slpm(nlpm)
更高和更低(di)的流量范圍
壓力至500 psig(34.5 barg)
氣體/環境溫度32°F至(zhi)(zhi)122°F(0°C至(zhi)(zhi)50 C)
響應時(shi)間(jian)(jian):300ms時(shi)間(jian)(jian)常數:2秒(典型值),在終(zhong)值的±2%之內(nei)(包(bao)括建立時(shi)間(jian)(jian)),根據(ju)要(yao)求提供更快(kuai)或(huo)更慢的速(su)度
24 VDC電源
密(mi)封件:Viton,Neoprene,Karlez
316不銹鋼結構
包括(kuo)模擬或數字信號:RS-232,RS-485(多點),0-20、4-20 mA; 0-5、1-5、0-10 VDC
數(shu)字通信: 基金會現場總線 和 Modbus RTU
所有清潔(jie)氣(qi)體(ti),包括有毒和腐蝕(shi)性
高精度:滿量程的+/- 0.5%
精度:滿量程的+/- 1%
重復性(xing):滿量程的+/- 0.2%
流量范圍從(cong)0-10 sccm到0-1000 slpm(nlpm)
更高和更低的流量范圍
壓力至(zhi)500 psig(34.5 barg)
氣(qi)體(ti)/環境(jing)溫度32°F至122°F(0°C至50 C)
響應時間(jian)(jian):300ms時間(jian)(jian)常數(shu):2秒(典型值),在終值的(de)±2%之內(包括(kuo)建立(li)時間(jian)(jian)),根據要求提供更快或更慢的(de)速度
24 VDC電源
密封件:Viton,Neoprene,Karlez
316不銹鋼結構
包(bao)括模擬或數字信號:RS-232,RS-485(多點),0-20、4-20 mA; 0-5、1-5、0-10 VDC
數字通信(xin): 基金會現場總線 和 Modbus RTU