MicroSeal 系(xi)列是高(gao)(gao)純度(du)、高(gao)(gao)完整性(xing)(xing)密封件(jian)的完整產(chan)品線(xian)，適用(yong)于工業和(he)半導(dao)體應(ying)用(yong)，包括低流量(liang)(liang)(liang)、高(gao)(gao)流量(liang)(liang)(liang)、高(gao)(gao)壓和(he)低壓降。我(wo)們(men)(men)還提供孔口(kou)(kou)密封件(jian)和(he)盲(mang)孔密封件(jian)，用(yong)于封閉(bi)備用(yong)端口(kou)(kou)。其他主(zhu)要優(you)點包括高(gao)(gao)清潔(jie)度(du)和(he)無源(yuan)、富鉻、低 Ra 表面(mian)(mian)光(guang)潔(jie)度(du)。MicroSeals 可(ke)改裝為(wei)標(biao)(biao)準(zhun)的 “C ”型(xing)(xing)密封系(xi)統。我(wo)們(men)(men)的密封件(jian)符合 SEMI 標(biao)(biao)準(zhun) PR 3.1、3.5 和(he)新的大流量(liang)(liang)(liang)標(biao)(biao)準(zhun)。MicroSeal 的設(she)計(ji)具(ju)有更柔軟、更順(shun)從的界面(mian)(mian)，可(ke)根(gen)據配合表面(mian)(mian)自(zi)行成型(xing)(xing)，確(que)保泄(xie)漏密封性(xing)(xing)，并在不犧牲回(hui)(hui)彈(dan)特性(xing)(xing)的情況下(xia)減免泄(xie)漏。這是市場上具(ju)有高(gao)(gao)回(hui)(hui)彈(dan)性(xing)(xing)的高(gao)(gao)順(shun)應(ying)性(xing)(xing)密封件(jian)。MicroSeals 的回(hui)(hui)彈(dan)率是同類(lei)密封件(jian)設(she)計(ji)的十倍之多，而且(qie)對(dui)空腔公差(cha)的容忍度(du)高(gao)(gao)。這確(que)保了密封面(mian)(mian)在惡劣壓力、溫(wen)度(du)和(he)振(zhen)動條件(jian)下(xia)保持緊密接(jie)觸。MicroSeal 組(zu)件(jian)，組(zu)件(jian)上使用(yong)的大流量(liang)(liang)(liang)，3 端口(kou)(kou)表面(mian)(mian)貼裝 1-1/2" 接(jie)口(kou)(kou)

優化的內徑，可在中流(liu)量、高流(liu)量、蒸汽和液體輸送系統中實(shi)現低壓(ya)降

低壓縮率，確保氣體/液體輸送系統的高可靠性(xing)

密(mi)封回彈力是傳(chuan)統設計(ji)的 10 倍，可在沖擊和(he)振動條件(jian)下實(shi)現泄漏完整性

符合(he) SEMI PR 3.1 和 3.5 標準

高(gao)純度雙熔(rong)體 316 不(bu)銹鋼

潔凈被動式富鉻表面

5 Ra 潤(run)濕表面處理

減免了高(gao)成本的返工(gong)和報(bao)廢現象

產地：美國

材(cai)料：>0.004 % 硫含(han)量

鉻/鐵比率：鉻/鐵比率 2.5

氧化物厚度（減碳(tan)）：CrO 厚度（減碳(tan)）35 角

表面粗糙(cao)度：＜ 1 微英(ying)寸

缺陷：每個(ge)位置少于 1 個(ge)缺陷

泄漏測(ce)試，設(she)計(ji)壓力：5000 psig

外側泄漏：<7 x 10^-11 atm·cc/sec He，100 psig，暴(bao)露于 5000 psig 后

壓力測試(shi)7500 psig 時(shi)的防爆：看不到(dao)流體靜壓測試(shi)液

防漏部件密封性：<7 x 10^-11

爆(bao)裂(lie)測試（靜(jing)水壓(ya)）：在 > 20,000 psig 壓(ya)力下(xia)爆(bao)裂(lie)

振動-MIILSPEC 810E Sec 1 類別 1：內側泄漏： 經過 MIL-SPEC810E Sec 1-3 類別 1 測試后，<7 x 10^-11 atm·cc/sec He

沖(chong)擊 - 以 25G 為(wei)增量進行跌落(luo)測(ce)試：沖(chong)擊超過 >294 G - 無泄漏(lou)

內側泄漏：<7 x 10^-11 atm·cc/sec He

扭矩：10、15、24、30、36 和 48 英(ying)寸/磅

可重復性：使用 20 套新(xin)密封件制作和重新(xin)制作基體

通過內側泄漏：<7 x 10^-11 atm·cc/sec He，在每次(ci)(ci)制作(zuo)(zuo)和(he)重新(xin)制作(zuo)(zuo)以(yi)(yi)及 20 次(ci)(ci)重新(xin)制作(zuo)(zuo)循環之后以(yi)(yi) 10、24 和(he) 48 英寸/磅扭矩進行測試(shi)

扭矩測試后，內側泄漏：< 5 x 10^-11 atm·cc/sec He

溫度循環

板內泄漏：在每個溫度下通過泄漏測試 <7x 10^-11 atm·cc/sec He

溫度沖擊測試：+200 至 -196 ℃（直接插入液態 N₂ 中）

在 <7 x10^-11 atm·cc/sec He 條件下無泄漏

標準密封：685 磅

工業、半導體