KLA帶有 6 路連接(jie)器探頭與CDE工具制造的探頭非(fei)常相似，但探頭頭不可(ke)互換，因此應格(ge)外小心，尤其(qi)是(shi)當(dang)兩個(ge)系統都在現場使(shi)用時。CDE兼(jian)容探頭具有獨特(te)的黑色(se)物鏡轉換器。所(suo)有 Jandel 探頭都具有高水平的機械精度。通過視頻(pin)檢測系統和光學(xue)干涉儀驗證(zheng)(zheng)半徑、間(jian)距和平面度的規格(ge)。負載由(you)電子測力計(ji)驗證(zheng)(zheng)。

• 高性能

• 探頭間距：0.500mm，0.635mm，1.00mm，1.016mm，1.27mm，1.591mm（針至針頭）
• 公差：+/- 10微米
• 布置：線性或方陣列
• 針頭：碳化鎢直徑為0.4mm（直徑為0.3mm的距離間距）
• 針頭選項：50％osmium合金提示可用
• 半徑：12.5、25、40、100、150、200、300、500微米
• 縮放到墊子：0.5毫米
• 平面性：+/- 0.025mm或更好
• 負載：固定在10克和250克之間
• 電氣泄漏：500伏特的針之間的1013歐姆電阻