FLEXI-FLOW緊湊型FF-M10和FF-M11緊湊型質量流量/壓力計適用于在真空和17 bar（a）之間的工作壓力下測量0…500 ml_n/min和0…20 l_n/min之間的(de)(de)流量(liang)范圍。該儀器結合了(le)基(ji)于毛細(xi)管(guan)MEMS技(ji)術(shu)(shu)的(de)(de)快速穩定的(de)(de)熱質量(liang)流量(liang)傳感器和(he)準(zhun)確可靠的(de)(de)旁(pang)路結構。由(you)于獨(du)特的(de)(de)TCS技(ji)術(shu)(shu)（通過芯片(pian)傳感器），建立了(le)與溫度和(he)管(guan)路壓力(li)(li)變化(hua)無關的(de)(de)準(zhun)確質量(liang)流量(liang)測量(liang)。結合集成(cheng)的(de)(de)溫度和(he)上下游壓力(li)(li)傳感器，22種氣體的(de)(de)嵌入式數(shu)據(ju)庫(ku)可實現準(zhun)確的(de)(de)車載轉(zhuan)換。多參數(shu)儀表(biao)為用戶(hu)提供有用的(de)(de)過程(cheng)信息：

-型號FF-M10：流量+溫度(du)

-型號FF-M11：流量+溫度+上下(xia)游壓(ya)力

• 緊湊型氣體質量流量和壓力表
• 集成氣體轉換模塊
• 22種氣體嵌入
• 多參數輸出：質量流量、溫度和壓力
• USB-C和藍牙通信
• Namur NE107狀態指示

產地：荷蘭

流量范圍（可用的中間范圍）：min.0…500 ml_n/min

Max.0…20 l_n/min（基于N2）

壓力范圍(wei)：FF-M10：不可用/FF-M11：0…17 bar（a）

精度(du)(du)（包(bao)括線性度(du)(du)）（基于實(shi)際校準(zhun)）：高達±0,5%Rd plus±0,1%FS（N2/空(kong)氣(qi)/O2）；

對于其他氣體，增(zeng)加(jia)轉換不確定性；

重復性

流量傳感器：<±0,2%Rd；

壓力傳感器：<±0,2%FS

減速(su)比：高達1:1000

工作壓力：max.16 bar g

22種(zhong)獨特氣(qi)體(ti)以及(ji)這(zhe)些氣(qi)體(ti)的任何混(hun)合物的多氣(qi)體(ti)/多量程(cheng)嵌入式氣(qi)體(ti)數據

響(xiang)應時間（傳感器）：<30 ms（T63）

3年內長期穩(wen)定性(xing)：<0,5%FS；每(mei)年<0,2%FS

安裝(zhuang)：任何位置，姿態靈敏度(du)可忽略不(bu)計

溫度傳感器(qi)靈敏度：zero 00015%FS/ºC；span 0,03%Rd/ºC；

壓力傳感器靈敏度：zero 0,16 mbar/ºC；span 0,05%Rd/ºC

溫度精度：±0,2ºC（儀器本體溫度）

壓力傳感器精(jing)度(du)：±0,5%FS

壓(ya)力敏感度（標(biao)準）：<0,15%Rd/bar，典型(xing)N2；

壓力校正：<0.02%Rd，典型N2

泄漏完整性，外側測試：<2 x 10^-9 mbar l/s He

機械部分

儀表本體(ti)：鋁或不銹(xiu)鋼（可(ke)選）

材(cai)料(liao)（接(jie)液部(bu)件）：鋁、不(bu)銹(xiu)鋼、氮(dan)化(hua)硅、環氧樹(shu)脂、氧化(hua)鋁、玻璃

表(biao)面質量(liang)：<1.6&mu;Ra（不銹鋼(gang)閥體<;0.8μRa）

壓力等級（PN）：16 bar（g）/250 psig

工藝(yi)連接可選(xuan)：壓(ya)縮式(shi)、推入(ru)式(shi)或(huo)端面(mian)密封(feng)聯軸器(qi)

密(mi)封(feng)件(jian)默認值：FKM 51415；

其(qi)他(ta)材料(liao)：請聯系(xi)工廠

重量：200 g，鋁閥(fa)體，300 g，不銹(xiu)鋼316閥(fa)體

防護等級：IP40

電氣特性

電源(yuan)：24 Vdc±10%

功耗(hao)：max.0,35 W

數字通(tong)信：Modbus RTU或(huo)FLOW-BUS（可(ke)選(xuan)）

支(zhi)持USB-C接口，便(bian)于設置(zhi)；

用于(yu)監控(kong)的(de)可選藍牙連(lian)接

電氣連接：9針(zhen)D-sub（公頭）