GPC 3000壓(ya)力(li)和流(liu)量控制(zhi)器是一(yi)種用于節流(liu)閥的數字PID壓(ya)力(li)控制(zhi)器,它可以提供+/-15VDC的電源(yuan),并(bing)為(wei)附(fu)加(jia)的電容式壓(ya)力(li)計和四個質量流(liu)量控制(zhi)器提供讀數。
閥門(men)操作(zuo):ATV1000排(pai)氣節流(liu)閥,MKS型
653和(he)253排(pai)氣節(jie)流閥和(he)其他
壓(ya)力(li)輸入信號(hao):標準:0-10 VDC
所(suo)需輸入(ru)功率90-132或180-264 VAC,50/60 Hz
設定點:共(gong)5個(ge),可(ke)在任何組合中編程,用于壓力或位置
可編(bian)程(cheng):(可從前(qian)面(mian)板調整(zheng),或(huo)(huo)從前(qian)面(mian)板選擇(ze)RS232、TTL或(huo)(huo)RS232)
外部模擬(ni):0-10伏直流電
控制器(qi)重(zhong)復性(xing):±0.1%F.S
環境操作
溫度:150℃至450℃
輸出功率:±15 VDC±5%@1.5 A
模(mo)擬輸出信號:0-100%閥位為0-10 VDC,1-100%F.S壓(ya)力為0-10 V DC
尺寸
1/2機架包(bao)裝(zhuang):88mm高x 241mm寬x 225深(shen)
顯示器:128 x 64點(dian)(dian)圖形LCD(壓力、位置和外部(bu)設(she)定(ding)點(dian)(dian)讀數)
顯示(shi)單元,軟啟動:Torr、mTorr、mbar、Pascal、cmH20、inH20、mbar和kpa標準
PID控制:標準
遠程歸零:標準
界(jie)面(mian):前(qian)面(mian)板,模擬,TTL和RS232,(RS-485選(xuan)項(xiang))
繼電器輸出:
2,工藝(yi)限制:24伏(fu)AC/DC 0.5安培電(dian)阻(zu)
遠程控制超控(打開、關閉、保持):標(biao)準
位置控制能力:標準
備用電池:不適用