PC30比例閥提(ti)供多(duo)功能性(xing),以及對惰性(xing)氣體的(de)流量(liang)和(he)(he)壓(ya)力控制。采用無(wu)摩擦的(de)扁平彈簧(huang)銜鐵,在簡單、緊湊的(de)結構中實(shi)現了良好(hao)的(de)可變流量(liang)特性(xing)和(he)(he)長壽命。提(ti)供高達 225 SLPM 的(de)流量(liang),標準孔(kong)尺寸從 0.156" 到 0.250" 直徑(jing)。有 12 和(he)(he) 24 伏(fu)直流電(5.8 瓦(wa))可供選擇,其響應時間(jian)為(wei) 5-8 毫(hao)秒和(he)(he) 10% 滯后(hou)。