OX400是(shi)一款使用氧化鋯技術(shu)的低水平氧氣分(fen)析儀。氧化鋯傳感器采用薄膜沉積技術(shu)，在氧化鋯元素和(he)(he)鉑層之間形(xing)成分(fen)子鍵，使傳感器更小，使用壽命更長。OX400 可用于(yu)控制和(he)(he)監控各種半導體應用，以及控制環境(jing)、空氣泄漏到惰性氣體和(he)(he)其(qi)他過程(cheng)。

• OX400 結構緊湊，重量輕，易于安裝，探頭設計便于更換電池和維修內部組件。通過這種設計，電池傳感器可以在現場輕松更換。
• 其獨特的測量池設計的特點是，該測量池受污染物的影響較小，從而延長了傳感器的使用壽命和高測量靈敏度，同時減少了其他過程組件的不良影響。

• 測量系統：氧化鋯系統
• 樣品氣體條件
• 流速：200±25 ml/min（僅適用于傳感器）。
• 溫度：0-50°C（非冷凝）。
• 濕度：無冷凝。
• 壓力：泵和吸氣器：0-300 PaG無吸氣裝置：最大40 kPaG。
• 尺寸：213（寬）x 132（高）x約375（深）mm
• 重量：約5千克