直接葉輪(lun)溫度(du)測量技術使操(cao)作范(fan)圍增(zeng)加
定制階段和后(hou)端口位置選擇的額(e)外靈活性
nEXT85中的(de)軸承(cheng)和墨盒完(wan)全可(ke)以(yi)最終(zhong)用戶使用
CMSD啟用低振動水平
具有微型USB端口和Edwards nST軟件(jian)的智能泵,允許泵監控,控制和配置
全套定制配件
增強客戶(hu)標(biao)準和(he)壓縮重點變化的選擇
nEXT85渦輪(lun)分子(zi)泵基(ji)于EXT75DX的(de)(de)成功,以更小的(de)(de)封裝提供具有(you)顯(xian)著改進(jin)性能的(de)(de)泵。轉(zhuan)子(zi)已經(jing)完全(quan)重(zhong)新(xin)設計,以優化泵性能,實現更高(gao)(gao)的(de)(de)速度和更高(gao)(gao)的(de)(de)壓(ya)縮(suo),同時保持(chi)高(gao)(gao)水平的(de)(de)可靠性。 除了(le)增(zeng)強的(de)(de)性能外(wai),nEXT85還可以獲得來自較大(da)的(de)(de)nEXT系(xi)列(lie)的(de)(de)相同服務(wu)和操(cao)作功能,包括(kuo)現場可維護性和內置智能,為產品提供了(le)便利(li)。
泵速度
NW40:48 L/sec(cfm)
ISO63:84 L/sec(cfm)
4.50"CF(DN63CF):84 L/sec (cfm)
壓縮比
N2:> 1.0×1011
Ar:1.0×109
He:8.5 x 106
H2:2.1×105
入口(kou)法蘭:DN63CF(4.50"外(wai)徑)
前緣法蘭:KF16
最(zui)大前緣壓力:7.5Torr(10mbar)
方向:垂直直立到90%
冷卻(que)方(fang)式:環境空氣(qi)(強制(zhi)空氣(qi)和水冷)