幾十年來，MEMS Pirani 傳感(gan)器(qi)一(yi)直被用(yong)(yong)于(yu)許(xu)多不同的(de)真(zhen)(zhen)空應(ying)用(yong)(yong)中，以測量和(he)控制(zhi)真(zhen)(zhen)空氣(qi)體壓力。MEMS Pirani 技(ji)術有很多優點，但到目(mu)前為止，由(you)于(yu)其(qi)暴露在外的(de)材料，該技(ji)術的(de)使用(yong)(yong)和(he)適用(yong)(yong)范圍受到了限制(zhi)。半導體行業(ye)常用(yong)(yong)的(de)腐蝕性氣(qi)體和(he)侵蝕性蝕刻工藝(yi)會損壞傳統的(de) MEMS Pirani 傳感(gan)器(qi)，因此電容(rong)式隔膜真(zhen)(zhen)空計和(he)對流(liu)式 Pirani 真(zhen)(zhen)空計一(yi)直是半導體工藝(yi)暴露和(he)其(qi)他惡劣環(huan)境下(xia)的(de)理(li)想選擇。

Sens4 現推出一(yi)系列新型(xing) MEMS 皮拉尼傳感器，其(qi)保形保護(hu)涂層可有(you)效阻隔(ge)腐(fu)蝕性(xing)氣體。根據不同的應用，SmartPirani傳感器系列現在可選配(pei)陶瓷或聚(ju)對二甲苯保護(hu)層，以防(fang)止傳感器材(cai)料的腐(fu)蝕或氧化。

陶瓷(ci)具(ju)有(you)很強的(de)耐腐蝕性，是電容式(shi)隔膜真空計(ji)中(zhong)真空傳感器隔膜的(de)理想(xiang)材(cai)料。陶瓷(ci)阻隔層選項專為半導體(ti)蝕刻和(he) CVD 應用而設計(ji)。

聚對(dui)二甲苯是一種(zhong)獨特的聚合物，具(ju)有高(gao)度耐腐蝕性和(he)疏水性。Parylene 阻隔層(ceng)專為醫療應用而設(she)計(ji)，包括但不(bu)限于凍(dong)干和(he)滅菌。 

在(zai)某些(xie)應(ying)用中(zhong)，微粒會損壞真(zhen)空計，針對這(zhe)些(xie)應(ying)用，SmartPirani 傳感器配(pei)有保(bao)護性擋板，可作為宏觀(guan)微粒的屏(ping)障(zhang)。結合涂層(ceng)選項，新型 SmartPirani傳感器可用于惡劣的真(zhen)空環(huan)境。

“Sens4 A/S 首(shou)席執行官 Ole Wenzel 表示："很明顯(xian)，我(wo)們在 2019 年推出的(de)(de) MEMS SmartPirani傳感器(qi)技(ji)術在性(xing)能(neng)和堅(jian)固性(xing)方面都優于對流(liu)線(xian)皮拉尼真(zhen)空計(ji)。”Ole繼續說道：“我(wo)們在各行各業都體(ti)驗到(dao)，客(ke)戶希望從老式(shi)的(de)(de)對流(liu)線(xian)皮拉尼真(zhen)空計(ji)轉向更先進的(de)(de)現代真(zhen)空計(ji)，而保護涂層則是擴大我(wo)們傳感器(qi)技(ji)術應用(yong)領域的(de)(de)一個推動因素。”

Sens4 A/S 首席技術(shu)官 Caspar Christiansen補充說：“我們(men)不僅在(zai)皮拉尼傳感器上推出了保護屏障選項，還在(zai)壓電膜片上推出了不受氣(qi)體(ti)(ti)類型(xing)和(he)濃(nong)度(du)影響的測(ce)量功能(neng)(neng)。”卡斯(si)帕(pa)繼(ji)續說道：“這種強大(da)的耐腐(fu)蝕組合可提(ti)供同類的測(ce)量性能(neng)(neng)，測(ce)量范(fan)圍(wei)從 1E-6 到 1333 mbar，測(ce)量精度(du)從 2 到 1333 mbar，不受氣(qi)體(ti)(ti)類型(xing)的影響。”